发布时间：2023-11-19 来源：热水锅炉系列
硫化床立式管式炉，炉管为高纯石英管，炉管内部装备一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可独自定制。粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，经过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行堆积试验 。硫化床立式管式炉，适用于CVD工艺，如碳化硅涂层、陶瓷衬底导电性测验、二维资料成长、ZnO纳米结构可控成长、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等试验，归于
留意： 在通入气体悬浮起样品颗粒时，或许会由于气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以试验时要根据颗粒的巨细尺度来调理气体流量等 。
